如何降低半導(dǎo)體制造無塵車間設(shè)備振動問題的影響？-江蘇泊蘇系統(tǒng)集成有限公司

要降低無塵車間設(shè)備振動問題的影響，需要從設(shè)備選型與安裝、振動監(jiān)測與控制、車間環(huán)境管理等方面綜合采取措施，以下是具體方法：

一：設(shè)備選型與安裝

1，選擇低振動設(shè)備：在采購設(shè)備時，優(yōu)先選擇經(jīng)過嚴(yán)格動平衡測試、振動水平低的設(shè)備。例如對于風(fēng)機(jī)，可選擇采用先進(jìn)的葉輪設(shè)計和制造工藝、運(yùn)行時振動小的品牌和型號；對于泵類設(shè)備，可選用具有良好減振措施的磁力泵或屏蔽泵等。

2，正確安裝設(shè)備

（1）精確找正與找平：安裝設(shè)備時，使用高精度的測量工具，如激光水平儀、百分表等，確保設(shè)備安裝位置準(zhǔn)確，水平度和垂直度偏差在允許范圍內(nèi)，使設(shè)備各部件受力均勻，減少因安裝偏差導(dǎo)致的振動。

（2)合理連接與固定：設(shè)備的管道連接應(yīng)采用柔性連接方式，如使用金屬軟管、橡膠軟接頭等，避免管道應(yīng)力傳遞到設(shè)備上引起振動；同時，按照設(shè)備安裝說明書的要求，使用合適的螺栓和墊片，均勻擰緊連接螺栓，確保設(shè)備與基礎(chǔ)或支架連接牢固。

2，安裝隔振裝置

（1）選擇合適的隔振器：根據(jù)設(shè)備的重量、振動頻率和振幅等參數(shù)，選擇合適類型的隔振器，如光刻機(jī)隔振器、RC水泥型隔振器、剛機(jī)構(gòu)承重型隔振器等。例如，對于重量較大、低頻振動明顯的設(shè)備，可選用鋼結(jié)構(gòu)隔振器；對于高頻振動設(shè)備，RC水泥型隔振器可能具有更好的隔振效果；而對于對振動要求極高的精密設(shè)備，光刻機(jī)隔振器能提供更精準(zhǔn)的隔振。

（2）正確安裝隔振器：嚴(yán)格按照隔振器的安裝說明書進(jìn)行安裝，確保隔振器的安裝位置正確，受力均勻，避免出現(xiàn)偏載或傾斜現(xiàn)象，以充分發(fā)揮隔振器的隔振性能。

二：振動監(jiān)測與控制

1，建立振動監(jiān)測系統(tǒng)：在無塵車間內(nèi)安裝振動傳感器，對關(guān)鍵設(shè)備的振動情況進(jìn)行實時監(jiān)測。通過數(shù)據(jù)分析軟件，對監(jiān)測數(shù)據(jù)進(jìn)行處理和分析，及時發(fā)現(xiàn)振動異常情況，并發(fā)出報警信號，以便工作人員及時采取措施。

2，實施主動減振控制：對于一些對振動敏感的關(guān)鍵設(shè)備，可以采用主動減振技術(shù)。例如，在設(shè)備上安裝主動減振器，通過傳感器實時監(jiān)測設(shè)備的振動狀態(tài)，然后由控制器根據(jù)監(jiān)測數(shù)據(jù)驅(qū)動主動減振器產(chǎn)生與振動方向相反的力，抵消部分或全部振動，實現(xiàn)對設(shè)備振動的主動控制。

3，定期維護(hù)與檢修設(shè)備：制定詳細(xì)的設(shè)備維護(hù)計劃，定期對設(shè)備進(jìn)行檢查、保養(yǎng)和維修。例如，定期檢查設(shè)備的旋轉(zhuǎn)部件和往復(fù)運(yùn)動部件的磨損情況，及時更換磨損嚴(yán)重的零部件；對設(shè)備進(jìn)行動平衡和靜平衡測試，發(fā)現(xiàn)不平衡及時進(jìn)行調(diào)整；檢查設(shè)備的潤滑系統(tǒng)，確保各部件得到良好的潤滑，減少摩擦引起的振動。

三：車間環(huán)境管理

1，隔絕外部振動源

（1）設(shè)置隔振溝或隔振墻：在無塵車間周圍設(shè)置隔振溝或隔振墻，切斷外部振動源通過地面?zhèn)鞑サ穆窂?。隔振溝的深度和寬度?yīng)根據(jù)外部振動源的強(qiáng)度和頻率等因素進(jìn)行設(shè)計，一般深度在 1-2 米左右，寬度在 0.5-1 米左右；隔振墻可采用具有良好隔振性能的材料，如橡膠混凝土等。

（2）優(yōu)化車間布局：合理規(guī)劃車間內(nèi)設(shè)備的布局，將對振動敏感的設(shè)備遠(yuǎn)離可能的外部振動源，如車間出入口、道路附近等。同時，避免將高振動設(shè)備與敏感設(shè)備相鄰放置，減少設(shè)備之間的振動相互影響。

2,優(yōu)化車間氣流

(1)組織合理設(shè)計通風(fēng)系統(tǒng)：對車間的通風(fēng)系統(tǒng)進(jìn)行優(yōu)化設(shè)計，合理選擇通風(fēng)管道的尺寸、風(fēng)速和風(fēng)口布置方式，確保氣流均勻、穩(wěn)定，減少氣流沖擊引起的管道振動和設(shè)備振動。例如，可采用變風(fēng)量通風(fēng)系統(tǒng)，根據(jù)車間內(nèi)的實際需求自動調(diào)節(jié)風(fēng)量和風(fēng)速。

(2)安裝氣流穩(wěn)定裝置：在通風(fēng)管道內(nèi)安裝氣流穩(wěn)定裝置，如整流器、消聲器等，對氣流進(jìn)行整流和消聲處理，降低氣流的紊流度和噪聲，減少氣流振動的產(chǎn)生。

3,穩(wěn)定車間溫度環(huán)境：采用高精度的溫度控制系統(tǒng)，確保車間內(nèi)溫度保持穩(wěn)定，減少因溫度變化引起的設(shè)備零部件熱脹冷縮導(dǎo)致的振動。同時，對設(shè)備進(jìn)行保溫處理，避免設(shè)備局部溫度變化過大。