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標簽 > mems
微機電系統(tǒng)(MEMS, Micro-Electro-Mechanical System),也叫做微電子機械系統(tǒng)、微系統(tǒng)、微機械等,是在微電子技術(shù)(半導體制造技術(shù))基礎上發(fā)展起來的,融合了光刻、腐蝕、薄膜、LIGA、硅微加工、非硅微加工和精密機械加工等技術(shù)制作的高科技電子機械器件。
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單晶硅是最先嘗試使用的芯片基材。硅及二氧化硅具有良好的化學惰性和熱穩(wěn)定性,而且硅的微細加工技術(shù)已趨成熟。即使復雜的三維結(jié)構(gòu),也可用整體和表面微加工技術(shù)進...
單個孤立麥克風作為傳統(tǒng)的語音拾取工具,在噪聲處理、聲源定位和跟蹤,語音增強等方面存在不足,在噪聲環(huán)境下會嚴重影響語音質(zhì)量。一些文章探討了多通道麥克風的降...
封裝的目的之一就是使芯片免受外部氣體的影響,因此,封裝的形式可分為氣密性封裝和非氣密性封裝兩類。
2023-03-31 標簽:處理器mems機電系統(tǒng) 1.2萬 0
導航和AHRS系統(tǒng)、機器健康狀況檢測的振動監(jiān)控、基礎設施的結(jié)構(gòu)健康狀況監(jiān)控和平臺穩(wěn)定、井下定向鉆探的傾斜監(jiān)控、施工行業(yè)平路機和勘測設備的調(diào)平、吊車穩(wěn)定系...
MEMS第一輪商業(yè)化浪潮始于20世紀70年代末80年代初,當時用大型蝕刻硅片結(jié)構(gòu)和背蝕刻膜片制作壓力傳感器。由于薄硅片振動膜在壓力下變形,會影響其表面的...
2018-01-17 標簽:mems 1.2萬 0
重力傳感器簡稱GV-sensor,輸出重力數(shù)據(jù)。 在地球上,重力數(shù)值為9.8,單位是m/s^2。 坐標系統(tǒng)與加速度傳感器相同。 當設備復位時...
MEMS諧振傳感器新范式:熱噪聲驅(qū)動的傳感器的可行性與動態(tài)檢測性能
近日,上海交通大學機械與動力工程學院張文明教授團隊在國際微納領(lǐng)域權(quán)威期刊《Microsystem& Nanoengineering》上發(fā)表了題目為“Th...
微機械加工工藝分為硅基加工和非硅基加工。下面主要介紹體加工工藝、硅表面微機械加工技術(shù)、結(jié)合加工、逐次加工。
2013-01-30 標簽:ICMEMS微機械系統(tǒng) 1.1萬 1
本文介紹ADI公司突破性的微機電系統(tǒng)(MEMS)開關(guān)技術(shù)。與傳統(tǒng)機電繼電器相比,ADI公司的MEMS開關(guān)技術(shù)使RF和DC開關(guān)性能、可靠性及小型化實現(xiàn)了跨...
固體電解質(zhì)氣敏傳感器有電流型和電壓型兩種,電流型的靈敏度高,測量范圍大,溫漂小。但它的輸出電流和敏感性能與電極尺寸關(guān)系密切。傳統(tǒng)的燒結(jié)體型器件難于控制電...
MEMS是隨著半導體集成電路微細加工技術(shù)和超精密機械加工技術(shù)的發(fā)展而發(fā)展起來的,目前MEMS加工技術(shù)還被廣泛應用于微流控芯片與合成生物學等領(lǐng)域,從而進行...
近幾年,各種智能穿戴設備興起,其中智能手環(huán)、腕表更是花樣繁多,但究其根本,在核心硬件原理上,都大同小異,而傳感器作更是其中必不可少的一環(huán),下面筆者就為大...
2015-03-19 標簽:MEMS智能手環(huán) 1.1萬 1
MEMS壓阻式加速度傳感器的敏感元件由彈性梁、質(zhì)量塊、固定框組成。壓阻式加速度傳感器實質(zhì)上是一個力傳感器,他是利用用測量固定質(zhì)量塊在受到加速度作用時產(chǎn)生...
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