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標(biāo)簽 > mems
微機(jī)電系統(tǒng)(MEMS, Micro-Electro-Mechanical System),也叫做微電子機(jī)械系統(tǒng)、微系統(tǒng)、微機(jī)械等,是在微電子技術(shù)(半導(dǎo)體制造技術(shù))基礎(chǔ)上發(fā)展起來(lái)的,融合了光刻、腐蝕、薄膜、LIGA、硅微加工、非硅微加工和精密機(jī)械加工等技術(shù)制作的高科技電子機(jī)械器件。
微機(jī)電系統(tǒng)(MEMS, Micro-Electro-Mechanical System),也叫做微電子機(jī)械系統(tǒng)、微系統(tǒng)、微機(jī)械等,指尺寸在幾毫米乃至更小的高科技裝置。
微機(jī)電系統(tǒng)是在微電子技術(shù)(半導(dǎo)體制造技術(shù))基礎(chǔ)上發(fā)展起來(lái)的,融合了光刻、腐蝕、薄膜、LIGA、硅微加工、非硅微加工和精密機(jī)械加工等技術(shù)制作的高科技電子機(jī)械器件。
微機(jī)電系統(tǒng)(MEMS, Micro-Electro-Mechanical System),也叫做微電子機(jī)械系統(tǒng)、微系統(tǒng)、微機(jī)械等,指尺寸在幾毫米乃至更小的高科技裝置。
微機(jī)電系統(tǒng)是在微電子技術(shù)(半導(dǎo)體制造技術(shù))基礎(chǔ)上發(fā)展起來(lái)的,融合了光刻、腐蝕、薄膜、LIGA、硅微加工、非硅微加工和精密機(jī)械加工等技術(shù)制作的高科技電子機(jī)械器件。
微機(jī)電系統(tǒng)是集微傳感器、微執(zhí)行器、微機(jī)械結(jié)構(gòu)、微電源微能源、信號(hào)處理和控制電路、高性能電子集成器件、接口、通信等于一體的微型器件或系統(tǒng)。MEMS是一項(xiàng)革命性的新技術(shù),廣泛應(yīng)用于高新技術(shù)產(chǎn)業(yè),是一項(xiàng)關(guān)系到國(guó)家的科技發(fā)展、經(jīng)濟(jì)繁榮和國(guó)防安全的關(guān)鍵技術(shù)。
MEMS側(cè)重于超精密機(jī)械加工,涉及微電子、材料、力學(xué)、化學(xué)、機(jī)械學(xué)諸多學(xué)科領(lǐng)域。它的學(xué)科面涵蓋微尺度下的力、電、光、磁、聲、表面等物理、化學(xué)、機(jī)械學(xué)的各分支。
常見的產(chǎn)品包括MEMS加速度計(jì)、MEMS麥克風(fēng)、微馬達(dá)、微泵、微振子、MEMS光學(xué)傳感器、MEMS壓力傳感器、MEMS陀螺儀、MEMS濕度傳感器、MEMS氣體傳感器等等以及它們的集成產(chǎn)品。
優(yōu)化導(dǎo)航系統(tǒng)中的MEMS IMU數(shù)據(jù)一致性和時(shí)序
PNT專家Dana Goward在近期的一篇社論中指出,如今社會(huì)極度依賴GPS提供的位置導(dǎo)航授時(shí)服務(wù)(PNT)。現(xiàn)有GPS/GNSS PNT服務(wù)面臨著一...
2025-07-11 標(biāo)簽:mems導(dǎo)航系統(tǒng)IMU 775 0
在MEMS制造工藝中,干法刻蝕是通過(guò)等離子體、離子束等氣態(tài)物質(zhì)對(duì)薄膜材料或襯底進(jìn)行刻蝕的工藝,其評(píng)價(jià)參數(shù)直接影響器件的結(jié)構(gòu)精度和性能。那么干法刻蝕有哪些...
Analog Devices Inc. ADXL373微功耗3軸MEMS加速度計(jì)數(shù)據(jù)手冊(cè)
Analog Devices Inc. ADXL373微功耗3軸MEMS加速度計(jì)是一款超低功耗、±400g微機(jī)電系統(tǒng)(MEMS)加速度計(jì),以2560Hz...
氫電解槽處于清潔能源革命的前沿,能夠通過(guò)水電解生產(chǎn)氫氣。隨著對(duì)綠色氫氣需求的增長(zhǎng),效率、安全和精度比以往任何時(shí)候都更加重要。為氫電解槽選擇正確的傳感器技...
Analog Devices Inc. ADXL367 MEMS加速度計(jì)數(shù)據(jù)手冊(cè)
Analog Devices Inc. ADXL367 MEMS加速度計(jì)是一款超低功耗、3軸微機(jī)電系統(tǒng) (MEMS) 加速度計(jì),在100Hz輸出數(shù)據(jù)速率...
傾角計(jì)是現(xiàn)代工業(yè)和科技中不可或缺的傳感元件。從高精尖的航空航天到日常使用的手機(jī),從保障安全的工程機(jī)械到預(yù)警地質(zhì)災(zāi)害的系統(tǒng),都能看到它的身影。MEMS傾角...
2025-06-20 標(biāo)簽:mems工業(yè)自動(dòng)化傾角計(jì) 107 0
Analog Devices Inc. ADXL359低功耗3軸MEMS加速度計(jì)數(shù)據(jù)手冊(cè)
Analog Devices Inc. ADXL359低功耗3軸MEMS加速度計(jì)是一款低噪聲密度、低0g失調(diào)漂移微機(jī)電系統(tǒng)(MEMS)加速度計(jì),具有可選...
在 MEMS(微機(jī)電系統(tǒng))制造領(lǐng)域,光刻工藝是決定版圖中的圖案能否精確 “印刷” 到硅片上的核心環(huán)節(jié)。光刻 Overlay(套刻精度),則是衡量光刻機(jī)將...
Analog Devices Inc. ADGM1121 0Hz/直流至18GHz DPDT MEMS開關(guān)IC數(shù)據(jù)手冊(cè)
Analog Devices ADGM1121 0Hz/直流至18GHz DPDT MEMS開關(guān)IC是寬帶、雙刀雙擲 (DPDT) 開關(guān),采用An...
高精度六軸MEMS運(yùn)動(dòng)跟蹤TM器件ICM-42688-P 數(shù)據(jù)表立即下載
類別:IC datasheet pdf 2024-08-12 標(biāo)簽:mems速度計(jì)
ADIS16470微型MEMS慣性測(cè)量單元(IMU)英文手冊(cè)立即下載
類別:IC datasheet pdf 2024-07-22 標(biāo)簽:memsIMU
ADI公司突破性的微機(jī)電系統(tǒng)(MEMS)開關(guān)技術(shù)立即下載
類別:電子資料 2023-11-27 標(biāo)簽:adimems微機(jī)電系統(tǒng)
重慶首個(gè)8英寸MEMS特色芯片全產(chǎn)業(yè)鏈項(xiàng)目“奧松半導(dǎo)體項(xiàng)目”迎來(lái)重大進(jìn)展
7月14日中午,隨著首臺(tái)8英寸生產(chǎn)線光刻機(jī)設(shè)備被吊車移進(jìn)位于高新區(qū)的重慶奧松半導(dǎo)體特色芯片產(chǎn)業(yè)基地(下稱“奧松半導(dǎo)體項(xiàng)目”),標(biāo)志著這一項(xiàng)目全面進(jìn)入設(shè)備...
技術(shù)奠定根基,瑞之辰數(shù)十項(xiàng)專利推動(dòng)產(chǎn)業(yè)創(chuàng)新
在全球科技競(jìng)爭(zhēng)日益激烈的今天,誰(shuí)能把“創(chuàng)新”寫進(jìn)基因,誰(shuí)就能贏得未來(lái)。瑞之辰科技有限公司(以下簡(jiǎn)稱“瑞之辰”)始終以技術(shù)創(chuàng)新為引擎,深耕核心技術(shù)研發(fā),累...
在集成MEMS芯片的環(huán)境溫度測(cè)量領(lǐng)域,熱阻、熱電堆和PN結(jié)原理是三種主流技術(shù)。熱阻是利用熱敏電阻,如金屬鉑或注入硅的溫度電阻系數(shù)恒定,即電阻隨溫度線性變...
總投資10億元,浙江一條MEMS芯片產(chǎn)線,知名企業(yè)見聞錄破產(chǎn)
? ? 近日,全國(guó)企業(yè)破產(chǎn)重整案件信息網(wǎng)披露了兩條破產(chǎn)申請(qǐng)信息,申請(qǐng)人均為蘇州新能環(huán)境技術(shù)股份有限公司,兩宗破產(chǎn)案件分別是(2025)浙0591破申30...
高性價(jià)比之選,瑞之辰 MEMS 壓力傳感器受市場(chǎng)青睞
長(zhǎng)期以來(lái),高端MEMS壓力傳感器被海外品牌壟斷,價(jià)格高、交期長(zhǎng),使得許多企業(yè)在成本控制上面臨巨大壓力。因此,一款既能提供出色性能,又具備合理價(jià)格的壓力傳...
日前,在美國(guó)加州圣克拉拉會(huì)議中心舉辦的美國(guó)國(guó)際傳感器及技術(shù)展覽會(huì)(Sensors Converge)大會(huì)現(xiàn)場(chǎng),博世用于胎壓監(jiān)測(cè)系統(tǒng)(TPMS)的全新ME...
尋北的基石:感知地球自轉(zhuǎn) 不同于依賴外部參考(如GPS或磁力計(jì))的傳統(tǒng)方式,MEMS陀螺儀的尋北技術(shù)直接測(cè)量地球自轉(zhuǎn)產(chǎn)生的角速度分量。想象一下,地球每2...
瑞之辰MEMS壓力傳感器:“小而精”技術(shù)引領(lǐng)國(guó)產(chǎn)替代
“小而精”,已經(jīng)成為工業(yè)傳感器的研發(fā)趨勢(shì),瑞之辰用MEMS技術(shù)打破了“尺寸小等于性能弱”的固有認(rèn)知。尺寸為10mm×2.6mm的金屬封裝壓力傳感器,不僅...
陀螺儀,核心功能在于感知物體的旋轉(zhuǎn)角速度與姿態(tài)變化,是現(xiàn)代導(dǎo)航定位與穩(wěn)定控制系統(tǒng)的基石。作為關(guān)鍵傳感器,其性能直接影響系統(tǒng)的精度與可靠性。在眾多解決方案...
2025-07-16 標(biāo)簽:mems 67 0
在非開挖地下工程作業(yè)中,軌跡控制精度會(huì)直接影響施工效率。傳統(tǒng)磁定向工具在金屬管道、城市地下強(qiáng)磁干擾環(huán)境中易失效;光纖陀螺體積大且抗振抗沖擊性能較差。而E...
2025-07-11 標(biāo)簽:mems 99 0
型號(hào) | 描述 | 數(shù)據(jù)手冊(cè) | 參考價(jià)格 |
---|---|---|---|
MSM321A3729H9BP | 模擬輸出MEMS麥克風(fēng) MIC_3.76X2.95MM_SM |
獲取價(jià)格
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MSM261DHP006 | MEMS硅麥 1.6~3.6V ±1dB |
獲取價(jià)格
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