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為滿足壓電泵系統(tǒng)流體精確控制及小型化的需要，提出利用壓電自感知及神經(jīng)網(wǎng)絡(luò)技術(shù)的單腔單振子壓電泵流量自測量方法。壓電泵結(jié)構(gòu)上采用雙壓電晶片振子同時(shí)作為執(zhí)行元件與傳感元件使用。首先分析了流量影響因素，并分析了傳感壓電片輸出信號(hào)與振子變形關(guān)系。得出：壓電泵流量與振子振動(dòng)狀態(tài)存在函數(shù)關(guān)系，振子的振動(dòng)狀態(tài)可由傳感壓電信號(hào)實(shí)時(shí)反映，因此在信號(hào)中隱含著壓電泵流量信息。據(jù)此制作了傳感壓電信號(hào)參數(shù)測量電路樣機(jī)，將參數(shù)測量結(jié)果作為神經(jīng)網(wǎng)絡(luò)輸入，建立了用于壓電泵流量預(yù)測的BP神經(jīng)網(wǎng)絡(luò)模型。實(shí)驗(yàn)結(jié)果表明：利用該方法得到的預(yù)測值與實(shí)驗(yàn)測量值之間相關(guān)系數(shù)在0. 999 3以上，最大相對(duì)誤差率小于3.46%，預(yù)測結(jié)果與測量值接近。該流量自測量方法具有較好的準(zhǔn)確性。
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