資料介紹
計(jì)了一種具有單一檢測質(zhì)量的力平衡式三軸微加速度計(jì).采用硅一硅鍵合工藝形成作為單一檢測質(zhì)量
塊的硅片組合,利用全差分電容檢測法實(shí)現(xiàn)對加速度三軸分量的檢測.通過提高檢測質(zhì)量的重心,有效增加了x、y
軸的靈敏度.利用ANSYS仿真軟件對該微加速度計(jì)進(jìn)行了模態(tài)及靜力學(xué)分析,提出了優(yōu)化設(shè)計(jì)參數(shù).3個(gè)檢測模態(tài)
(1階、2階和3階模態(tài))的頻率分別為1.329 kHz、1.345 kHz和2.174 kHz.通過優(yōu)化設(shè)計(jì),提高了3階模態(tài)和4階
模態(tài)的頻率差距,降低了其他高階模態(tài)的干擾.在1009(g為重力加速度)的z向加速度作用下,懸臂梁所受的最
大應(yīng)力為46 MPa,小于單晶硅的彎曲極限值70~200 MPa.靜力學(xué)分析表明,加速度計(jì)的懸臂梁結(jié)構(gòu)參數(shù)能夠滿足
加速度計(jì)的力學(xué)性能要求.
塊的硅片組合,利用全差分電容檢測法實(shí)現(xiàn)對加速度三軸分量的檢測.通過提高檢測質(zhì)量的重心,有效增加了x、y
軸的靈敏度.利用ANSYS仿真軟件對該微加速度計(jì)進(jìn)行了模態(tài)及靜力學(xué)分析,提出了優(yōu)化設(shè)計(jì)參數(shù).3個(gè)檢測模態(tài)
(1階、2階和3階模態(tài))的頻率分別為1.329 kHz、1.345 kHz和2.174 kHz.通過優(yōu)化設(shè)計(jì),提高了3階模態(tài)和4階
模態(tài)的頻率差距,降低了其他高階模態(tài)的干擾.在1009(g為重力加速度)的z向加速度作用下,懸臂梁所受的最
大應(yīng)力為46 MPa,小于單晶硅的彎曲極限值70~200 MPa.靜力學(xué)分析表明,加速度計(jì)的懸臂梁結(jié)構(gòu)參數(shù)能夠滿足
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