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      電子發(fā)燒友網(wǎng)>電子資料下載>電子論文>納米材料論文>Testing of a MEMS-based IC Pro

      Testing of a MEMS-based IC Pro

      2010-08-13 | rar | 213 | 次下載 | 3積分

      資料介紹

      Introduction
      The Nano Indenter G200 is a versatile
      instrument capable of measurements
      beyond the scope of traditional or even
      advanced depth-sensing indentation
      tests. NanoSuite Explorer software’s
      user-friendly environment for developing
      novel test methods turns the Nano
      Indenter G200 into a multi-functional
      tool capable of several different
      types of small-scale mechanical
      tests. Each NanoSuite method is a
      customizable prescription for driving the
      instrument hardware and for collecting,
      conditioning, and analyzing the resulting
      measurement data.
      This application note describes the
      development of a novel method for
      testing an element in a micro-electro-
      mechanical system (MEMS) device. The
      MEMS device that is the subject of this
      testing is itself used to test integrated
      circuits (IC).
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