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超大規(guī)模集成電路銅互連電鍍工藝

2009-12-14 | rar | 555 | 次下載 | 3積分

資料介紹

超大規(guī)模集成電路銅互連電鍍工藝
曾磊 1,張衛(wèi)2,汪禮康2
1.羅門哈斯電子材料(上海)有限公司
2.復(fù)旦大學(xué)微電子研究院,復(fù)旦-諾發(fā)互連研究中心
摘要:介紹了集成電路銅互連雙嵌入式工藝和電鍍銅的原理;有機(jī)添加劑在電鍍銅中的
重要作用及對(duì)添加劑含量的監(jiān)測(cè)技術(shù);脈沖電鍍和化學(xué)電鍍?cè)阢~互連技術(shù)中的應(yīng)用;以及銅互連電鍍工藝的發(fā)展動(dòng)態(tài)。
關(guān)鍵詞:集成電路,銅互連,電鍍,阻擋層
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