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      電子發(fā)燒友網(wǎng)>電子資料下載>絕緣資料|化工資料>AZ4903光刻膠在微電機(jī)定子繞組制作中的應(yīng)用

      AZ4903光刻膠在微電機(jī)定子繞組制作中的應(yīng)用

      2009-06-29 | rar | 188 | 次下載 | 10積分

      資料介紹

      為滿足電磁型平面微電機(jī)對定子繞組線圈的高深寬比及厚度要求，提出一種利用AZ4903光刻膠制作電磁平面微電機(jī)定子繞組的方法。通過反復(fù)摸索，得到了該光刻膠的較理想_的轉(zhuǎn)速一膠膜厚度、前烘時間一溫度的關(guān)系曲線及合適的曝光、顯影時間。制作出了厚度為40 m、陡直度良好的定子繞組線圈。把利用該工藝制作的定子繞組和轉(zhuǎn)子裝配后形成了微電機(jī)，通過對該電機(jī)轉(zhuǎn)速和輸出力矩的測試結(jié)果表明，電機(jī)運(yùn)轉(zhuǎn)平穩(wěn)、力矩波動小。
      關(guān)鍵詞：機(jī)械制造工藝；AZ4903；電磁型平面微電機(jī)；繞組線圈
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