資料介紹
有著“納米眼”之稱(chēng)的白光干涉儀,是一款在縱向分辨率上可實(shí)現(xiàn)0.1nm的分辨率和測(cè)量可靠性的光學(xué)測(cè)量?jī)x器。

白光干涉儀采用的光學(xué)輪廓測(cè)量法可以非接觸式測(cè)量非平坦樣品,輕松測(cè)量出彎曲和其他非平面表面,還可以測(cè)出曲面的表面光潔度、紋理和粗糙度等,同時(shí)不會(huì)像探針是輪廓儀那樣損壞薄膜。

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