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光刻膠清洗去除方法

濾波器 ? 來源:濾波器 ? 2024-11-11 17:06 ? 次閱讀
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光刻膠作為掩模進(jìn)行干法刻蝕或是濕法腐蝕后,一般都是需要及時的去除清洗,而一些高溫或者其他操作往往會導(dǎo)致光刻膠碳化難以去除。

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