近日，虹科與Primelite正式建立合作伙伴關(guān)系，虹科將共同與Primelite開發(fā)中國市場，為客戶提供高功率點(diǎn)固化光源和大基板紫外曝光光源產(chǎn)品，為紫外固化、半導(dǎo)體制造和加工、高功率紫外應(yīng)用等行業(yè)帶來新的光源解決方案。

01

關(guān)于Primelite

Primelite GmbH成立于2016年，由經(jīng)驗(yàn)豐富的工程師和管理人員組成。在2016年底的SEMICON Japan貿(mào)易展上展示了第一個(gè)多功能光纖耦合高功率UV-LED光源ALE 1的原型，2017年初開始批量生產(chǎn)。

Primelite通過先進(jìn)的UV-LED曝光解決方案擴(kuò)展了產(chǎn)品組合，將標(biāo)準(zhǔn)輸出性能帶到半導(dǎo)體行業(yè)的掩模對準(zhǔn)器和晶圓步進(jìn)器中，提供先進(jìn)的UVLED點(diǎn)光源和曝光光源解決方案，用于汽車、國防、電子、醫(yī)療、光學(xué)和半導(dǎo)體行業(yè)。

02

優(yōu)勢技術(shù)

高功率輸出

與普通產(chǎn)品不同，Primelite紫外光源產(chǎn)品具有集成“UV-LED，電源設(shè)備和冷卻設(shè)備”的結(jié)構(gòu)，可實(shí)現(xiàn)“多個(gè)高輸出UV-LED”，實(shí)現(xiàn)業(yè)界最高水平的高輸出。它可以很容易地集成到系統(tǒng)中，因?yàn)樗恍枰獠坷鋮s以及更換紫外線燈

照射范圍可變

Primelite點(diǎn)光源產(chǎn)品是光導(dǎo)輸出，因此可以通過“改變鏡頭和工作距離”自由改變照射范圍。

除了支持表面光發(fā)射外，還可以收集光線并將高功率光照射到大基板區(qū)域，該區(qū)域被均勻地照亮。

多波長設(shè)置

Primelite可配備多個(gè)UV-LED，每個(gè) LED 具有不同的波長。UV-LED可以單獨(dú)打開/關(guān)閉和輸出控制，根據(jù)應(yīng)用實(shí)現(xiàn)波長和輸出控制。在某些情況下，通過執(zhí)行適當(dāng)?shù)牟ㄩL和輸出控制提高了自動化生產(chǎn)線的吞吐量并縮短了UV固化的處理時(shí)間。

03

產(chǎn)品及解決方案

ALE 1點(diǎn)光源

ALE/1是代替以往的放電燈的高輸出、高穩(wěn)定的LED光源裝置，最多可內(nèi)置5種LED，可輸出或定制多個(gè)波長（365nm，385nm，405nm，435nm），最高可達(dá)到30W輸出。LED模塊易于更換，可靈活應(yīng)對應(yīng)用程序更改，易于集成到新的和現(xiàn)有設(shè)置中，是適應(yīng)未來需求且具備顯著所有權(quán)成本優(yōu)勢的無汞光源。
虹科ALE/1 UVLED光源可適用于半導(dǎo)體制造、質(zhì)量保證和檢查（NDT），在汽車、電子、光電子、制藥和生命科學(xué)領(lǐng)域具有廣泛的應(yīng)用市場。

ALE 3 點(diǎn)光源

虹科ALE/3光源是代替以往水銀燈的高輸出LED紫外線光源裝置，可內(nèi)置2種LED，可選擇單光譜設(shè)置（365、385、405或435nm）和多光譜設(shè)置（365和405nm），高達(dá)15 W光輸出，是粘合劑硬化及半導(dǎo)體晶片的周邊曝光等應(yīng)用中有效光源方案，是適應(yīng)未來需求且具備顯著所有權(quán)成本優(yōu)勢的無汞光源。

虹科ALE/3 UVLED光源是替代汞燈的完美解決方案，適用于半導(dǎo)體制造、質(zhì)量保證和檢查（NDT），在汽車、電子、光電子、制藥和生命科學(xué)領(lǐng)域具有廣泛的應(yīng)用市場。

ALE 1C 曝光光源

虹科ALE/1C曝光光源系統(tǒng)是一種超高功率LED輻照系統(tǒng)，寬帶輸出可達(dá)到50W。該光源包含兩個(gè)系統(tǒng)來使用：控制系統(tǒng)（CSS）和曝光系統(tǒng)（ESS），將控制系統(tǒng)和光源系統(tǒng)一分為二，提供高功率和緊湊性，易于集成到機(jī)器中。曝光系統(tǒng)可與光導(dǎo)管、導(dǎo)光板等各種光學(xué)元件結(jié)合使用。
虹科ALE/1C紫外光源系統(tǒng)可適用于4〃、6〃和8〃晶圓的掩模對準(zhǔn)器、1X晶圓步進(jìn)器和微型步進(jìn)器以及任何高均勻精度曝光場景

ALE 2曝光光源

虹科ALE/2紫外光源系統(tǒng)是高輸出、高穩(wěn)定的LED紫外線光源裝置，輸出功率最高可至80W。ALE/2紫外光源最多可內(nèi)置4種LED，可輸出多個(gè)波長（365 nm / 385 nm / 405 nm / 435 nm），并且可配置搭載多個(gè)相同波長的模塊，實(shí)現(xiàn)高強(qiáng)度i線或g線輸出。
虹科ALE/2 紫外光源系統(tǒng)可適用于8寸和12寸曝光機(jī)、先進(jìn)封裝投影***、晶圓邊緣曝光、光掩模檢查、質(zhì)量保證和檢查（NDT），在汽車、電子、光電子、制藥和生命科學(xué)領(lǐng)域具有廣泛的應(yīng)用市場。