作為半導(dǎo)體自動化生產(chǎn)不可或缺的軟件,設(shè)備自動化系統(tǒng)EAP(Equipment Automation Program)是連接MES,RMS,APC,F(xiàn)DC等上層系統(tǒng)和設(shè)備層的溝通橋梁。在12寸Fab廠,量產(chǎn)線設(shè)備多達500臺,8寸Fab廠量產(chǎn)線則有300臺設(shè)備。
EAP被譽為“設(shè)備管理大師”,對生產(chǎn)線上的所有機臺進行實時管控,實現(xiàn)設(shè)備運行的自動化;在高端應(yīng)用中,借助AI技術(shù),通過RCM實現(xiàn)Fab廠所有設(shè)備集中化遠程控制,自動處理設(shè)備異常,自動修正配方,自動創(chuàng)建配方。
上揚軟件的EAP支持的通信協(xié)議包括SECS (HSMS,GEM),PLC (西門子,歐姆龍,三菱,倍福等)。而支持的Fab廠工作模式有如下3種:Open Cassette,自動上料卸料機臺SMIF (Standard Merchanical Interface),全自動模式 (AGV 或MCS)。
EAP的主要功能
機臺狀態(tài)數(shù)據(jù)收集,包括機臺生產(chǎn)模式控制/初始化/啟動/停止
機臺活動數(shù)據(jù)的收集處理和追蹤追溯
批次(Lot)校驗/進站/出站/掛起
配方管理,包括ID校驗、選擇、上傳和下載
警報管理,當(dāng)機臺發(fā)生故障時,提供報告,并通知相關(guān)人員進行處理
條形碼/RFID/SMART TAG讀取器管理
材料狀態(tài)跟蹤
設(shè)備狀態(tài)監(jiān)控
上揚軟件EAP的特點
1.采用易用的開發(fā)工具
易用的開發(fā)工具便于系統(tǒng)開發(fā),上手簡單
工作流機制保證系統(tǒng)多任務(wù)平穩(wěn)運行
2. 服務(wù)器模式,方便升級和部署
EAP Server以服務(wù)器模式運行,控制設(shè)備自動化跑貨
Backup Server和Failover機制保證EAP Server不宕機
跨平臺腳本化支持熱發(fā)布
3. 良好的擴展性,便于與其它系統(tǒng)集成
易于與其他系統(tǒng)集成,如MES,MCS,SPC,RMS,F(xiàn)DC,APC等
多種通信方式支持,如Web Service, Message bus(RV, Active MQ, Rabbit MQ) 等
支持Linux操作系統(tǒng),高效穩(wěn)定
多語言支持
4. 適用于半導(dǎo)體6/8/12寸晶圓制造廠和先進/傳統(tǒng)封裝廠,光伏組件/電池廠
作為計算機集成制造系統(tǒng)CIM的重要軟件,上揚軟件的EAP與MES完美配合,減少并預(yù)防設(shè)備故障,縮短設(shè)備失效時間,優(yōu)化設(shè)備利用率,從而提高半導(dǎo)體工廠的生產(chǎn)效率,避免人工操作失誤,提高產(chǎn)品良率。
原文標(biāo)題:設(shè)備管理大師 EAP
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